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製品情報


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SKEのフォトマスク

多種多様なフォトマスクを生産

デジタル機器と人との接点として重要な役割を果たす液晶ディスプレー、高精細化 の実現によって、液晶テレビをはじめ、PCモニター、カメラ、スマートフォンやタブレット端末など、その用途も多様化しています。

また、超薄型ディスプレーとして開発が進められている有機ELやスマートフォンやタブレット端末の伸びに合わせて市場が拡大しているタッチスクリーンパネル。エスケーエレクトロニクスは様々な製品分野で最適なフォトマスクを提供しています。

ディスプレーパネル
  • LCD(液晶ディスプレー)
  • PDP(プラズマ・ディスプレー・パネル)
  • 有機EL(有機エレクトロルミネセンス)
  • TSP(タッチスクリーンパネル)
その他の電子デバイス
  • 半導体パッケージ
  • 光導波路
  • MEMS(マイクロマシン)
  • サーマルヘッド
  • 各種材料、装置の検証用

合成石英ガラスをはじめ、最適素材を選択

フォトマスクの素材には概ねガラスが用いられています。ガラスは薬品による変化がほとんど無く、安定した品質が得られるためです。

中でもエスケーエレクトロニクスが最高品質のフォトマスク素材として用いているのが合成石英ガラスです。

熱膨張率が小さいため寸法精度が良く、露光に使われる短波光を95%以上という優れた透過率で通し、精緻なパターンを短い時間で再現します。

その他、製品の種類や用途に応じてフィルムやソーダライムガラスなどの基板素材を使用しています。

フォトマスクの材料

マスクの種類フィルムマスクエマルジョンマスククロムマスク
材質ポリエステルソーダライムソーダライム石英

フォトマスク材料の特性

ガラスの熱膨張率

ガラスの光透過率

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