多種多様なフォトマスクを生産
デジタル機器と人との接点として重要な役割を果たす液晶ディスプレー。大型・高精細化の実現によって、PCモニターをはじめ、ナビゲーションシステムやカメラ、テレビなど、その用途も多様化しています。
また、次世代の超薄型ディスプレーとして期待が寄せられているELや新しい表示方式のFED、SED。更には高集積化が進むLSIなどの半導体パッケージを実装するCOF、プリンタに使われるサーマルヘッド。エスケーエレクトロニクスは様々な製品分野で最適なフォトマスクを提供しています。
ディスプレイパネル
- LCD（液晶ディスプレー）
- PDP（プラズマ・ディスプレー・パネル）
- EL（エレクトロルミネセンス）
- FED（電界放出ディスプレー）
- SED（表面電界ディスプレー）
その他の電子デバイス
- 半導体パッケージ
- プリント基板
- 光導波路
- MEMS（マイクロマシン）
- サーマルヘッド
- 各種材料、装置の検証用
合成石英ガラスをはじめ、最適素材を選択
フォトマスクの素材には概ねガラスが用いられています。ガラスは薬品による変化がほとんど無く、安定した品質が得られるためです。
中でもエスケーエレクトロニクスが最高品質のフォトマスク素材として用いているのが合成石英ガラスです。
熱膨張率が小さいため寸法精度が良く、露光に使われる短波光を95％以上という優れた透過率で通し、精緻なパターンを短い時間で再現します。
その他、製品の種類や用途に応じてフィルムやソーダライムガラスなどの基板素材を使用しています。
フォトマスクの材料
| マスクの種類 | フィルムマスク | エマルジョンマスク | クロムマスク | |
|---|---|---|---|---|
| 材質 | ポリエステル | ソーダライム | ソーダライム | 石英 |
フォトマスク材料の特性
