製品情報
京都工場では、第8世代パネル用フォトマスクまで量産が可能です。
この第8世代パネル用フォトマスクは一辺が1メートルを超える超大型なもので、線幅数ミクロン(μm。1μm=1/1000mm)という精密なパターンの形成が求められます。
また、京都工場では極めて高度な技術を必要とする多階調マスクも生産しています。多階調マスクは、パネルの表示品位の向上と生産効率アップを実現するため、需要の拡大が見込まれています。
柱の無い構造で建てられているので、製造装置のレイアウト設計がしやすく、空間を有効に活用できます。
省エネ建材や太陽光発電などを採用し、工場の随所に省エネ思想を取り入れ、低ランニングコストを実現しています。
外観には周囲の景観に溶け込む色調とデザインを採用しました。
建物全体が耐震構造になっており、主要な装置には個別に最新の振動対策を施しました。また、フォトマスクの大型化によって長くなる描画時間は、停電によるリスクを高めますが、それを回避するため、自社のバックアップ電源を確保しています。
フォトマスクの生産ラインには数ミクロンのチリの侵入も許されません。 1ミクロン以上のチリを除いてクリーンにした空気を天井から吹き降ろし、室内で出た埃は床から吸い込むダウンフロー構造を全フロアに施すとともに、できる限り人手を介さないロボット搬送を行うなど、エリア別に最高のクリーン環境を維持するよう努めています。
京都工場は、滋賀工場と相互補完し、生産効率の最大化を目指しています。