SKEのフォトマスク | フォトマスク | 製品情報

多種多様なフォトマスクを生産

デジタル機器と人との接点として重要な役割を果たすフラットパネルディスプレー、高精細化の実現によって、液晶テレビをはじめ、PCモニター、ノートPC、スマートフォンやタブレット端末など、その用途も多様化しています。

また、超薄型ディスプレーとして開発が進められている有機ELディスプレーやスマートフォン等の伸びに合わせて市場が拡大しているタッチスクリーンパネル。エスケーエレクトロニクスは様々な製品分野で最適なフォトマスクを提供しています。

フォトマスクの素材には概ねガラスが用いられています。ガラスは薬品による変化がほとんど無く、安定した品質が得られるためです。

中でもエスケーエレクトロニクスが最高品質のフォトマスク素材として用いているのが合成石英ガラスです。

熱膨張率が小さいため寸法精度が良く、露光に使われる短波光を95％以上という優れた透過率で通し、精緻なパターンを短い時間で再現します。

薄型ディスプレー代表格の液晶は今や第10世代に突入しています。エスケーエレクトロニクスでは業界で初めて第10世代以上用フォトマスクを量産できる体制を整えました。

同時に、スマートフォンやウェアラブル機器などに使用される中小型のフラットパネルディスプレーにも対応。大型から中小型まで、さまざまな大きさのフォトマスクを提供します。

ガラス基板には世代という大きさを表す用語があり、世代の数字が大きくなるほど、ガラス基板のサイズも大きくなります。それに伴って、基板にパターンを焼き付ける時に原版として使うフォトマスクのサイズも大きく対応させる必要があります。